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Les mentions anciennes situent le nom surtout en Lorraine et dans le Morbihan. Il est aussi présent dans la Saône-et-Loire. On trouve également en Lorraine la forme Wary, qui paraît similaire, tout comme Varry (51). Il semble qu'on ait affaire à un nom de personne, avec deux possibilités : soit une variante de Varin, Varrin, Warin, Waryn (= Garin, Guérin). Soit un autre nom de personne germanique, Walaricus, à l'origine de la commune de Saint-Valery-sur-Somme, nom prononcé et écrit "Saint-Wary" en picard. Dans le Morbihan, à noter l'existence d'un lieu-dit Saint-Vary, nom d'un moulin ruiné à Pluvigner, qui s'écrit aussi Saint-Varicq, ce qui correspond bien à l'hypothèse Walaricus."
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